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MPCVD主要用于合成石墨烯薄膜和各种碳纳米材料,有一个水平石英管式炉。一个催化剂衬底(通常是铜铝箔)放置在炉里,甲烷气体或乙炔气体从外部低流量和低压地注入,在催化剂的衬托上形成石墨烯薄膜。 1)石英管尺寸:OD50×ID46×L1200mm 2)加热区尺寸:φ50×L260mm 3)操作温度:1200 ℃ 4)正常使用温度范围:400-1100 ℃ 5)程序化PID温度控制 6)三路气体源MFC控制 (hydrocarbon, H2, Ar) 7)旋转真空泵,抽速20L/min 8)热电偶实时监测样品温度 9)快速加热和制冷系统 10)手动管式炉滑动系统,滑动距离300mm 11)设备尺寸:W1400×H1000×D500mm |