纳米压印系统

桌面型纳米热压印系统，针对大学实验室、研究所微纳米加工研究设计，配备精密的温度控制和低压控制系统，使用方便，性能稳定可靠；同时配合专业设计的压印模板，可实现各种微纳米图形加工，特征线宽小于20nm；

主要特点：
1.桌面型设计；
2.热压印技术；
3.模板整合温度控制；
4.快速升温、快速降温，大大缩短热循环加工周期；
5.低压控制技术；
6.自动压入、脱模设计；
7.适用于各种微纳米加工研究（2inch~4inch，其他定制）；
8.特征线宽小于20nm；

安装要求：
1.真空0.4 to 0.8 bar（实验室真空要求），流速至少1mL/min；
2.压缩空气或压缩氮气6-10 bar；
3.电源：110-240V (50-60 Hz, larger than 200W)；

附件：纳米压痕模板